システム構成
- 半導体工場・液晶工場の搬送・機器制御を管理
- 経路予測・探索を始め、最も効率的な管理を完全自動化
- 24時間-365日連続運転を保証する高い信頼性を実現
- 搬送量・時間など、各種統計データをグラフィカルに表示・操作
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半導体は非常にデリケートな製品です。わずかな埃や傷が不良の原因となるため、構内のクリーン環境の徹底はもちろん、材料や部品、製品の運搬は「自動搬送機器」で行います。
アイ・シー・エスは、自動搬送機器を制御するシステムを開発しています。数千台の搬送台車を管理し、時間当たり数十万回の搬送を高精度なシステム制御によって、複雑なルートにも柔軟に対応するほか、最も効率よく運べる経路を選択して搬送するため、生産性向上に貢献しています。
天井搬送機器や無人搬送機器の最適な搬送経路を検索し、効率の良い搬送を実行します。
各種搬送機器 ( 天井搬送機器・無人搬送機器・階間搬送機器 ) と自動倉庫を連携して、構内搬送を実行します。
これにより、搬送すると同時に在庫管理・入出庫管理を行うことができます。
各種搬送機器が制御できることから、構内全体の搬送状況をモニタできます。
そのため、異常発生機器を視覚的に捉えることができます。
制御コントローラの二重化に対応しており、ハードウェア故障時の搬送不能時間を最小限にとどめることが可能です。
| 搬送経路判別 | |
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| 優先搬送 | 特急搬送対応として、搬送指示には優先順位を付加することができます |
| 搬送履歴管理 | 搬送情報サーバで一元管理されます |
| 各搬送機器制御設定情報管理 | 搬送情報サーバで一元管理されます |
天井に設置した軌道を走行する自動搬送装置です。
ベルト駆動で製造装置のロードポートにダイレクトにアクセスします。
天井に設置した軌道を走行する自動搬送装置です。
主に、半導体製造の各プロセスに配置された保管設備間の搬送を行います。
床上走行式の自動搬送機器です
搬送の対象となる材料・部品、製品の誤搬送、到着遅延が抑制され、生産効率効向上を実現します。
各種運搬にかかわる人材の有効活用ができます。
搬送情報サーバに蓄積されたデータは、生産現場改革時などに活用できる情報資産になります。
制御コントローラのハードウェア入替時に搬送情報サーバーにバックアップされた情報を基に復元が行えます。
これにより、短時間でのハードウェア入替を可能にします。
